1. 毕业设计（论文）主要内容：
根据典型的射频微机电系统的振动元件及其工作原理，对其进行结构设计和分析，并结合微机电系统工艺方法进行工艺设计。
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
1.查阅不少于15篇相关文献，其中英文文献不少于2篇，完成开题报告。
2.理解射频微机电系统的工作原理
3.根据要求设计出射频微机电系统振动核心元件的结构，并进行三维建模，COMSOL物理仿真。
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3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
第1周~第3周：寻找关于射频微机电系统的资料，进行前期资料搜集整理，并进行初步设计。
第4周~第5周：学习并掌握COMSOL多物理场软件进行仿真建模，学习并掌握微机电系统的原理及其计算。
第6周~第12周：设计射频微机电系统，建立三维模型，并对其进行仿真校核并制作动画。
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4. 主要参考文献
1.张海霞，缪雯，方东明．射频微机电系统的理论、设计、制备及应用[M]．北京．科学出版社．2014：P416
2.金钟硕，宋寅相，李相勋等．压电射频微机电系统装置及其制备方法[M]．2006.10
3.崔春雷．无线通信中射频电路的设计与应用［D］．西安：西安交通大学．2005
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