1. 毕业设计(论文)主要内容:
电子器件主要利用半导体材料的性质,若含有杂质,即使含量极少,也将严重影响其电学性能。因此,降低硅基材料的杂质含量至关重要。但目前,精准定量表征高纯硅中痕量元素的含量、分布、成分也是一大技术难点。此外,由于痕量杂质的含量极低(达ppb级),在材料表征及测试中不引入新杂质也极为关键。本毕业论文面向湖北晶星科技股份公司的生产实际,调研对半导体材料中痕量元素的种类、含量及分布进行表征和分析的方法,最终形成调研报告及可行方案。本毕业论文主要内容包含:
1. 高纯硅基气/液体的水解固化技术调研,了解国内外研究概况和发展趋势,了解选题与社会、健康、安全、成本以及环境等因素的关系;
2. 无定形二氧化硅中痕量杂质的表征分析技术研究;
2. 毕业设计(论文)主要任务及要求
1. 文献调研,查阅不少于15篇的参考文献(其中近5年英文文献不少于3篇),了解国内外研究概况和发展趋势,了解选题与社会、健康、安全、成本以及环境等因素的关系,完成开题报告;
2. 调研高纯硅基气/液体的固化技术现状;
3. 调研无定形二氧化硅中痕量杂质的表征分析技术现状;
3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排
1-3周:查阅相关文献资料,完成英文翻译。明确研究内容,了解研究对象结构、测试仪器和设备。确定调研方案,并完成开题报告;
第4-6周:按照方案,调研高纯硅基气/液体的固化技术现状;
第7-10周:调研无定形二氧化硅中痕量杂质的表征分析技术现状。
4. 主要参考文献
[1] Richard J.C. Brown, Martin J.T. Milton, Analytical techniques for trace element analysis: an overview, TrAC Trends in Analytical Chemistry. 2005, 24 (3): 266-274.
[2]E. Miller Wylie, Benjamin T. Manard, C. Derrick Quarles, Lisa A. Meyers, Ning Xu, An automated micro-separation system for the chromatographic removal of uranium matrix for trace element analysis by ICP-OES,Talanta,2018, 189:24-30.
[3]Chia-Ting Chen, Daniela Banaru, Thierry Sarnet, Jrg Hermann, Two-step procedure for trace element analysis in food via calibration-free laser-induced breakdown spectroscopy, Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy,2018, 150:77-85.
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