1. 毕业设计（论文）的内容和要求
由于现有的基于平膜结构的压阻式压力传感器的灵敏度和压力测量范围很难有效地提高，本课题拟通过应力集中的设计思想对压阻所在区域的拓扑结构展开优化，提高传感器的灵敏度并拓展传感器对低微压力的检测范围。
本次设计内容主要为以下两方面：1. 对压阻式压力传感器的感压弹性膜表面的拓扑进行优化，实现弹性膜表面压阻所在区域的应力集中，提高传感器的灵敏度并拓展传感器对地位压力的检测范围。
2. 对传感器的压敏电阻形状进行优化，通过分析敏感膜表面的应力分布优化压阻的形状，充分利用敏感膜的应力，提高传感器的灵敏度。
2. 参考文献
[1]林日乐.石英振梁加速度计技术研究[D]. 四川:成都电子科技大学. 2006.[2]曲利新.MEMS开关技术的研究与进展[J].现代电子技术,2008,1(264)147-149[3]斯东浩,李艳松.基于 MEMS 技术的热式质量流量传感器[J]. 国外电子测量技术, 2005, 1(119):49-52.[4]沈莉,沈自伟,赵敬月.汽车碰撞试验用多轴压阻加速度传感器及校准方法[J]. 上海计量测试, 2011, (02):30-33.[5]Ranjit Singh, Low Lee Ngo, Ho Soon Seng, Frederick Neo Chwee Mok A silicon piezo-resistive pressure sensor[Z]. 2010 .4. [6] A. Druzhinin, E. Lavitska, I. Maryamova, Medical pressure sensors on the basis of silicon microcrystals and SOI layers, Sensor Actuat. B Chem. 58 (1999)415419.[7] N. Kattavenos, B. Lawrenson, T.G. Frank, M.S. Pridham, R.P. Keatch, A.Cuschieri, Force-sensitive tactile sensor for minimal access surgery, Minim.Invasiv. Ther. 13 (2004) 4246.[8] C. Pramanik, H. Saha, Low pressure piezoresistive sensors for medicalelectronics applications, Mater. Manuf. Process 21 (2006) 233238.[9] A.A. Barlian, W.T. Park, J.R. Mallon, A.J. Rastegar, B.L. Beth, Review:semiconductor piezoresistance for microsystems, Proc. IEEE 97 (2009)513552.[10] L.S. Pakula, H. Yang, H.T.M. Pham, P.J. French, P.M. Sarro, Fabrication of a CMOS compatible pressure sensor for harsh environment, J. Micromech.Microeng. 14 (2004) 14781483.[11] G.G. Yaralioglu, A.S. Ergun, B. Bayram, E. Haeggstrom, B.T. Khuri-Yakub,Calculation and measurement of electromechanical coupling coefficient ofcapacitive micromachined ultrasonic transducers, IEEE Trans. Ultrason.Ferroelectr. 50 (2003) 449456.[12] X. Li, E.C. Kan, A wireless low-range pressure sensor based on P(VDF-TrFE)piezoelectric resonance, Sensor Actuat. A Phys. 163 (2010) 457463.
以上是毕业论文任务书，课题毕业论文、开题报告、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
