1. 毕业设计（论文）主要目标：
（1）制备出具有低电阻率和高透明度的铝掺杂ZnO晶体薄膜；
（2）阐明ZnO薄膜的光电性能与铝掺杂浓度之间依赖关系；
（3）完成符合规范要求的本科毕业论文一篇。
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2. 毕业设计（论文）主要内容：
（1）根据课题的研究内容，查询、阅读相关文献资料30篇以上，归纳总结相关知识点，了解课题研究的最新进展；
（2）通过文献调研，掌握ZnO薄膜的电子束蒸发制备程序，了解生长温度、沉积气压、工作电流、衬底种类等对ZnO薄膜的结构与光学、电学性质的影响，为制备ZnO薄膜奠定基础；
（3）采用电子束蒸发制备Al掺杂的ZnO透明导电薄膜，通过调控掺杂浓度制备出具有低电阻率和高透明度的薄膜样品；
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3. 主要参考文献
温晓莉, 陈长乐, 陈钊, 韩立安, 高国棉. ZnO基半导体薄膜材料的研究进展. 材料导报，2007, 21:41-49。
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