1. 毕业设计（论文）主要目标：
红外探测器是应用于热成像的主要探测技术,在国防!航天领域具有重要的战略意义'作为当今非制冷热成像的主流技术,氧化钒(Vox)微测热辐射计焦平面成像阵列具有重量轻!成本低,且符合单兵作战装备要求等优点,成为世界各国许多商业机构和研究单位竞相开发的目标'但是,焦平面阵列制备涉及集成电路设计!红外光学!薄膜生长!MEMS工艺等众多技术,是一项复杂的系统工程'.
本文针对红外微测热辐射计器件结构优化设计!薄膜生长以及器件制备工艺进行研究,成功地制备出具有微桥结构的!热敏材料为Vox的微测热辐射计像元,桥面为SINx/Vox/SINx三明治结构,由被5102包裹的AL微柱所支撑'器件具有红外响应特性'.
2. 毕业设计（论文）主要内容：
本文主要工作如下:1.为提高器件的红外吸收率及其响应度,本文对器件结构进行优化设计.以光学导纳矩阵原理为理论基础,分别采用从头算的方式获得器件的红外吸收特性和利用ANSYS有限元软件定量分析桥臂宽度及引线材料对器件热学及热形变特性的影响.2.薄膜生长技术是微测热辐射计的关键技术,本文以制备高电阻温度系数(TCR)的热敏V0!为研究目标,采用反应电子束蒸发工艺,通过退火提高薄膜晶体质量.本文采用PECVD沉积SIN:薄膜,通过调整衬底温度!反应气体流量比,以及结合应力释放槽工艺制备符合要求的SIN!薄膜'.3.为优化器件工艺,降低成本,本文对AZ5214E图像反转光刻以及PI牺牲层工艺进行详细研究'.采用先在122e预固化P工后湿法腐蚀工艺来制备P工图形,有效简化工序!降低成本'.4.对真空封装后的器件进行红外响应和TCR测试,表明器件具有红外响应特性,并对影响器件TCR的衬底材料及多层薄膜应力等因素进行分析'.
具体操作为：
1.通过数学模型分析!光学传输矩阵计算以及ANSYS器件仿真,得到影响器件性能的结构!光学参数,为器件结构优化设计提供可靠的理论依据'.
3. 主要参考文献
[l]A.Rogalski.OPtiealdeteetorsforfocalPlanearrays[J].oPtoeleetronicsreview,2004,12(2):241一245.
[2]红外热辐射计结构优化设计与器件制备[J].杨跃.北京邮电大学.2012
[3]8ARogalski.Infrareddeteetors:statusandtrends[J].ProgressinQuantumEleetronies,2003,27:59一210.
以上是毕业论文任务书，课题毕业论文、开题报告、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
