磁控溅射沉积陶瓷薄膜的颜色研究任务书

 2021-08-22 23:34:55

1. 毕业设计(论文)主要内容:

采用磁控溅射技术在不锈钢基板上沉积陶瓷薄膜,如TiN。考察溅射功率、沉积气压、基板温度对钒薄膜的显微结构与宏观颜色的影响。

1.薄膜的制备技术

利用磁控溅射技术,采用陶瓷靶材,在高纯氩气气氛下制备厚度大于1微米的陶瓷薄膜,薄膜具有单一物相。

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2. 毕业设计(论文)主要任务及要求

要求:

学生需要熟练操作磁控溅射系统,并能够系统的完成几组样品的制备。薄膜材料的各类测试方法:X-射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜等。熟练查阅英文科技文献。

任务:

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3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排

1-3周:查阅相关文献资料,完成英文翻译。明确研究内容,了解研究所需靶材、仪器和设备。确定技术方案,并完成开题报告。

4-6周:按照设计方案,磁控溅射沉积制备陶瓷薄膜。

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4. 主要参考文献

1 I. Saravanan, A.E. Perumal, S.C. Vettivel, N.Selvakumar, and A. Baradeswaran, “Optimizing wear behavior of TiN coated SS316L against Ti alloy using Response Surface Methodology,” Materials andDesign, 67 469–482 (2015).

2 L. Zhang, H. Yang, X. Pang, K. Gao, H.T. Tran,and A. a. Volinsky, “TiN-coating effects on stainless steel tribologicalbehavior under dry and lubricated conditions,” Journal of MaterialsEngineering and Performance, 24 [4] 1263–1269 (2014).

3 B. Tian, W. Yue, Z. Fu, Y. Gu, C. Wang, and J.Liu, “Microstructure and tribological properties of W-implanted PVD TiNcoatings on 316L stainless steel,” Vacuum, 99 68–75 (2014).

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