全文总字数：3825字
1. 毕业设计（论文）的内容和要求
本课题内容主要为多孔SiC薄膜的制备及孔径调控。
通过化学气相沉积工艺（CVD），采用SiC-C共沉积的方法，实现可调比例的SiC-C共沉积涂层的制备和设计，通过氧化工艺去除C组元从而形成具有特定孔径结构的多孔SiC薄膜。
最后把整个研究内容写成毕业论文。
2. 实验内容和要求
本课题要开展的实验内容和要求如下：实验工艺流程1、 2.多孔SiC薄膜的制备：1） 以石墨纸为基底模板，用MTS（CH3SiCl3）和C3H6为先驱体原料，H2用作载气，Ar用作稀释及保护气体，在11000C真空炉中缓慢热解，调控反应气体与载气的流量，实现可调比例的SiC-C共沉积涂层的制备和设计2） 通过氧化工艺去除C组元从而形成具有特定孔径结构的多孔SiC薄膜。
2.多孔SiC薄膜的表征：利用XRD、SEM及TEM对等对样品进行涂层厚度、孔径大小、物相、显微结构分析并对其进行表征和性能测试，并利用Origin等软件处理实验数据。
3. 参考文献
根据毕业要求指点2.3，针对复杂科学问题，具有调查研究、检索与阅读中外文献资料的能力，并能在此基础上进行归纳总结和分析论证，提出解决方案。毕业论文期间要进行研究现状调查与总结，要求在开题报告及毕业论文中查阅的中英文文献不少于20篇，其中近5年不少于8篇，英文文献不少于5篇。以下是与本课题相关的部分文献列表： [1] 卢翠英, 成来飞, 赵春年,等. 温度对化学气相沉积碳化硅涂层的影响[J]. 材料科学与工艺, 2010(04):575-578.
[2] 王春雨, 王鑫宇, 唐才宇,等. 石墨表面化学气相沉积SiC及C涂层的制备[J]. 金属热处理, 2011(07):79-83.
[3] 肖鹏, 黄伯云, 徐永东. 沉积条件对CVD-SiC沉积热力学与形貌的影响[J]. 无机材料学报, 2002(04):877-881.
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