1. 题目来源
#题目来源压电材料能够实现机械能和电能之间的相互转换，在传感器、驱动器、存储器等领域具有广泛的应用前景。
其中，锆钛酸铅（PZT）基铁电薄膜材料因其优异的压电性能、介电性能和铁电性能，成为制备高性能电子元器件的首选材料之一。
磁控溅射法作为一种重要的薄膜制备技术，具有沉积速率高、成膜质量好、易于控制等优点，被广泛应用于PZT薄膜的制备。
2. 应完成的主要内容
#应完成的主要内容本论文应完成的主要内容包括：1.文献综述:对PZT薄膜材料、磁控溅射技术、PZT薄膜电性能影响因素等方面进行系统的文献调研，了解国内外研究现状，为本课题的研究提供理论基础。
2.PZT薄膜的制备:利用磁控溅射技术，在不同溅射压强、溅射功率、衬底温度等工艺参数下制备PZT薄膜样品。
3.PZT薄膜的结构表征:采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）等测试手段对制备的PZT薄膜样品的晶体结构、表面形貌、厚度等进行表征。
3. 基本要求及完成的成果形式
#基本要求及完成的成果形式##基本要求1.研究方法科学合理:论文应采用科学的研究方法，实验设计合理，数据分析准确，结论可靠。
2.内容完整、层次清晰:论文应结构完整，逻辑清晰，层次分明，语言流畅，符合学术规范。
3.数据真实可靠:论文中使用的所有数据必须真实可靠，并注明数据来源。
4. 计划与进度安排
第一阶段 （2024.12~2024.1）确认选题，了解毕业论文的相关步骤。
第二阶段（2024.1~2024.2）查询阅读相关文献，列出提纲
第三阶段（2024.2~2024.3）查询资料，学习相关论文
5. 参考文献（20个中文5个英文）
[1] 刘欣,王文海,李雪峰,等.磁控溅射法制备PZT铁电薄膜的研究进展[J].压电与声光,2018,40(05):731-737.
[2] 王静,周迪,周志强,等.溅射参数对PZT薄膜微结构及电性能的影响[J].功能材料,2018,49(12):12133-12137.
[3] 李小华,张辉,李文,等.磁控溅射PZT薄膜的工艺及铁电性能研究[J].人工晶体学报,2019,48(12):2336-2341 2347.
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