1. 毕业设计（论文）主要内容：
锆钛酸铅（PZT）薄膜基于其优异的铁电、压电、机电耦合等性能被广泛的应用到多种领域中，如铁电存储器、振动能量采集器等。PZT薄膜的制备方法中最成熟的是溶胶-凝胶法，但难以保证在大批量生产时薄膜性能的稳定性，磁控溅射法所制备的薄膜重复性高，稳定性强，致密性好，具有很大的应用前期。因此，确定磁控溅射法中影响薄膜生长的因素，制定合理的工艺参数，使得通过磁控溅射法制备高质量的PZT薄膜具有很大的实际意义。本课题采用磁控溅射法制备PZT薄膜，通过探究在制备过程中影响薄膜生长的因素，掌握磁控溅射法制备薄膜的原理，溅射气氛、衬底温度等因素对薄膜生长的作用机理，加强对XRD、FESEM等表征手段的分析能力。
设计主要内容：
1．文献调研，了解国内外相关研究概况和发展趋势，了解选题与社会、健康、安全、成本以及环境等因素的关系；
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
1．查阅不少于15篇相关文献资料，其中近5年英文文献不少于3篇，了解国内外相关研究概况和发展趋势，了解选题对社会、健康、安全、成本以及环境等的影响，完成开题报告；
2．完成不少于5000字的英文文献翻译；
3. 掌握磁控溅射法制备薄膜的基本原理；
3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
第1-3周 查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告；
第4-8周 按照设计方案，控制磁控溅射条件制备一系列PZT薄膜；
第9-11周 采用XRD、FE-SEM、TEM等测试对样品对材料的物相、显微结构、铁电/介电性能进行测试；
4. 主要参考文献
[1] Sujin Choi , Juyun Park , Jisoo Kang etal. Surface characterization of PZT thin films obtained at various O2 gas ratios[J].Vacuum, 128(2016), 234-239.
[2] Arun Narayanan, Amarteja Kocherla,Kolluru V.L. Subramaniam. Understanding the coupled electromechanical responseof a PZT patch attached to concrete: Influence of substrate size [J]. Measurement,124(2018), 505-514.
[3] F. Ferreira , R. Serra, A. Cavaleiro,J.C. Oliveira. Additional control of bombardment by deep oscillation magnetron sputtering:Effect on the microstructure and topography of Cr thin films [J]. Thin SolidFilms, 619(2016),250-260.
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