1. 毕业设计（论文）主要内容：
1）学习湿化学腐蚀的相关知识。
2）学习磁场辅助的基本原理。
3）基于光刻工艺，设计十字叉形模板，进行实验，比较结构的优劣，进行优化。
剩余内容已隐藏，您需要先支付后才能查看该篇文章全部内容！
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
（1）学习湿化学腐蚀及光刻的相关知识。
（2）学习磁场辅助的基本原理。基于光刻工艺，设计十字叉形模板，进行实验，比较结构的优劣，进行优化。
（3）阅读的参考文献不少于15篇（其中近五年外文文献不少于3篇)。
剩余内容已隐藏，您需要先支付后才能查看该篇文章全部内容！
3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
第1-2周：完成题目调研，查阅参考资料，完成开题报告。
第3-7周：学习湿化学腐蚀及光刻的相关知识，完成英文文献的翻译。
第8-13周：学习磁场辅助的基本原理。基于光刻工艺，设计十字叉形模板，进行实验，比较结构的优劣，进行优化。
剩余内容已隐藏，您需要先支付后才能查看该篇文章全部内容！
4. 主要参考文献
[1]1. 孙俭.碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌的影响[J].电子工业专用设备，光伏制造与设备，2011,194：28-30.
[2]2. Krzysztof P.Rola,Irena Zubel.Impact of alcohol additives concentration on etch rate and surface morphologyof (100) and (110) Si substrates etched in KOH solutions[J]. Microsystem Technologies,2013,19:635-643.
[3]3.张凯,顾豪爽,胡光,叶芸,吴雯,刘婵. MEMS 中硅的深度湿法刻蚀研究. 湖北大学学报(自然科学版)，2007,29（3）：255-257.
剩余内容已隐藏，您需要先支付 10元 才能查看该篇文章全部内容！立即支付
以上是毕业论文任务书，课题毕业论文、开题报告、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
