1. 毕业设计（论文）主要目标：
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掌握ANSYS和MATLAB基本使用方法及硅压力传感器的工作原理；
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完成膜不同厚度和热应力对薄膜应力分布和挠度的影响的分析。
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得到压阻式压力传感器的优化方案。
剩余内容已隐藏，您需要先支付后才能查看该篇文章全部内容！2. 毕业设计（论文）主要内容：
1.学习使用有限元分析软件ANSYSY，掌握软件使用的整个过程。
2.研究本设计中所用的硅的材料特性，以及在现代元器件基础材料方面硅的使用；
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[1]朱目成,夏季,张立红,刘强.硅压阻式传感器性能影响因素的研究[J].兵工自动化,2000(02):45-47 51.
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