基于干涉原理的纳米级薄膜厚度测量研究任务书

 2021-08-20 22:50:58

1. 毕业设计(论文)主要内容:

在光学薄膜的各种相关参数测量中,厚度是光学薄膜设计和制备中必须要考虑的关键参数之一,它对于薄膜的光学性能、力学性能和电磁性能等都有重要的影响,因此,对于薄膜厚度(尤其是纳米级薄膜厚度)的准确测量显得尤为重要。

而随着现代科技和镀膜工艺的快速发展,薄膜材料得到了很大的发展,由微米级薄膜发展到了纳米级薄膜,与之对应的薄膜厚度测量手段也需要发展。

本课题是基于光学干涉原理对纳米级的薄膜厚度进行测量,设计一种结构简单,成本较低,易于操作的纳米级薄膜厚度测量方案。

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2. 毕业设计(论文)主要任务及要求

1、查阅不少于15篇的相关资料,其中英文文献不少于3篇,完成开题报告。

2、完成基于白光干涉峰值波长移动的仿真分析和实验验证,搭建光学实验系统,完成薄膜厚度的测量。

3、完成不少于5000汉字的英文文献的翻译。

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3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排

第1-3周:查阅相关文献资料,明确研究内容,了解白光干涉峰值波长移动的原理和相关知识,并建立理论分析模型,完成开题报告。

第4-8周:完成英文文献翻译,进一步完善研究目标,完成对基于峰值波长移动解调方案的分析和系统仿真;

第9-13周:搭建脑膜厚度测量系统,完成纳米及薄膜厚度的测量,完成相应的实验结果处理和误差分析;

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4. 主要参考文献

[1]J. T. Foley, E. Wolf, “Phenomenon of spectral switches as a new effect in singular optics with polychromatic light,” Opt. Soc. Am. A.19, 2510–2516 (2002).

[2]E. Wolf, “Invariance of the spectrum of light on propagation,” Phys.Rev. Lett. 56, 1370–1372 (1986).

[3]J. Pu, H. Zhang, and S. Nemoto, “Spectral shifts and spectral switches

of partially coherent light passing through an aperture,” Opt. Commun., 162, 57–63 (1999).

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