1. 毕业设计(论文)主要内容:
由于金属薄膜材料的电磁性能、光学性能以及力学性能具有其它薄膜材料不可替代的优越性,因此在微电子器件、光电器件、通讯工程中有着广阔的应用空间。这些性质不仅取决于制作工艺,还与薄膜的厚度密切相关,因此准确测量薄膜厚度非常重要。对于纳米级金属薄膜的测量,现有的精确测量的手段主要是运用扫描探针显微镜、椭偏仪以及台阶仪等。目前的这些检测仪器的结构复杂,使用条件都有其限制,并且价格昂贵。为了克服现有方法的缺点,设计一种结构简单,成本较低,易于操作的纳米级薄膜厚度测量方法就是本课题研究的目的和意义。
2. 毕业设计(论文)主要任务及要求
设计(论文)完成的主要任务:
1、建立模拟表面等离子体共振的理论分析模型;
2、仿真分析共振角与银膜厚度之间的关系,分析利用表面等离子体共振测量方法的测量思路;
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3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排
第8学期:
第1-3周:查阅相关文献资料,明确研究内容,了解表面等离子体共振的原理和相关知识,并建立理论分析模型,完成开题报告。
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4. 主要参考文献
[1]符运良,袁一方,陈抱雪,“表面等离子体共振(SPR)薄膜传感器的研究”.激光杂志,73-74,27(2006)
[2]W.P.Chen,J.M.Chen,“Useofsurfaceplasmawavesfordeterminationofthe
thicknessandopticalconstantsofthinmetallicfilms”,Opt.Soc.Am.71,189–191(1981)
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