1. 毕业设计（论文）主要内容：
谐振式微质量传感器通过测量附着在传感器探测区表面的质量变化引起的结构谐振频率的变化来检测物质成分。其在细菌和病毒等微生物检测、微小颗粒探测、气/液体成分和浓度测量等方面具有广泛的应用。对于微质量传感器，由于探测物质的质量变化极其微小，传感器必须具有很高的灵敏度，因此需要研究传感器的谐振结构以提高传感器的探测灵敏度并且不断设计出新的传感器以满足实际需要。本论文将从谐振式微质量传感器的工作原理入手，从理论上提出一种谐振式微质量传感器的设计方式，并利用数学计算研究不同结构参数对传感器灵敏度的影响。
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
设计（论文）完成的主要任务：
1、理解谐振式微质量传感器的工作原理；
2、对比几种典型的谐振式微质量传感器的结构，理解它们的性能特点；
3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
第8学期：
第1－3周：查阅相关文献资料，明确研究内容，了解谐振式微质量传感器的基本原理并总结出几种典型的传感器结构。确定方案，完成开题报告。
第4－8周：完成英文文献翻译，进一步完善研究目标，弄清楚谐振式微质量传感器的工作机理。对比几种典型的谐振式微质量传感器的工作原理与探测性能，并明确自己打算设计的一种传感器结构。
4. 主要参考文献
[1]高仁璟，赵健，李雪等.基于槽式悬臂梁结构的微质量传感器设计[J].光学精密工程，2012,20（1）:102-108.
[2]L.Jin,LLi.ANovelMassSensorBasedonNanomechanicalTransistor[J].IEEEElectronDeviceLetters,2015,36(1):68-70.
[3]LJin,LLi.Largescaleelectromechanicaltransistorwithapplicationinmasssensing[J].JournalofAppliedPhysics,2014,116(213503)
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