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1. 毕业设计（论文）主要内容：
纳米级金属薄膜具有优异的光电性质，该特性不仅与材料类型有关，而且薄膜的厚度也是一个重要影响因素。因此，薄膜厚度的准确测量对于其研究和应用都非常重要。
近年来，表面等离子体共振（Surface PlasmonResonance ，SPR）技术在测量纳米级薄膜的参数方面获得了一定程度的研究和应用。由于SPR效应对金属薄膜厚度变化非常敏感，因此可以用来检测薄膜的厚度；而SPR相位检测法的灵敏度优于角度和波长调制型SPR检测法。论文的研究目标主要是利用相位调制型SPR实现纳米级Au膜的厚度测量。
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
1.查阅不少于15篇的相关资料，其中英文文献不少于3篇，完成开题报告。
2. 文献查阅纳米级金属薄膜厚度的测量方法，对比SPR相位调制型与其他检测方法的优劣；掌握SPR厚度检测的相关机理。
3. 仿真分析影响薄膜厚度测量的相关因素：入射光波长和入射角度等，分析金属薄膜厚度的检测难点，选择可行的测量方案。熟悉磁控溅射等薄膜制备方法，制备不同厚度的薄膜样品，利用相位调制型SPR测量其厚度，并对结果的误差做出分析。
3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
第1-3周：查阅相关文献资料，明确研究内容，了解SPR相位调制的相关原理。确定方案，完成开题报告。
第4-6周：阅读英文文献，完成翻译。掌握SPR相位调制。
第7-12周：测量不同厚度的Au膜，与其他方法测得的厚度相比较，分析误差的原因。
4. 主要参考文献
[1]C . Liu , et al ,SPR phase detection formeasuring the thickness of thin metal films , Optics Express , 2014 ,22(7):7574-7580 .
[2]J. D. Xin, Q.G. Liu, T. T. Li, S. Y. Liu, Phase detection for nanometer scale metal film'sthickness based on SPR effect, Advanced Materials Research, 2011, 320: 377-381.
[3]Liu Q , Li Y , Qin Z , et al. Phase detection model andmethod for SPR effect modulated by metallic thickness[C] SPIE OpticalMetrology. 2017.
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