1. 毕业设计（论文）的内容、要求、设计方案、规划等
掌握硅微加速度计的相关原理与基本结构，在此基础上，设计静电力反馈结构，实现对加速度计的闭环控制，从而达到较高的测量精度和鲁棒性。
要求完成加速度计整体系统的设计，并通过Matlab仿真验证所设计系统的有效性。
2. 参考文献（不低于12篇）
1、电容式微加速度计的闭环检测技术研究2、电容式微加速度计检测原理与设计分析3、电容式微加速度计闭环检测电路4、电容式微型加速度传感器的建模仿真及优化设计研究5、静电力反馈微加速度计的模拟控制器优化6、具有自检测功能的闭环加速度计接口电路设计7、力反馈式微机械加速度计刚度的自适应调整8、力平衡式微加速度计系统特性研究9、一种电容式闭环微加速度计系统10、高线性微机械差分电容式加速度计测量电路11、Micro Accelerometer Design with Digital Feedback Control12、Capacitive Interfaces for Monolithic Integrated Sensors
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