真空磁控溅射法在玻璃镀膜中的应用任务书-任务书网

1. 毕业设计（论文）的内容和要求

通过毕业论文，培养学生查阅文献及相关资料的能力，学会独立思考问题、分析问题和解决问题的方法，为今后进一步的学习和工作奠定基础。

了解磁控溅射法镀膜的工艺和设备，熟悉磁控溅射法的镀膜原理。

了解磁控溅射法的原理、应用以及发展，结合工艺流程进行分析，并针对磁控溅射法所需的设备以及所涉及的各参数进行讨论，最后对磁控溅射镀膜工艺存在的问题进行分析，并对国内外的不同之处进行比较。

[1] 李云奇.真空镀膜技术与设备设计安装及操作维护实用手册[M].

[2] 马元远，王德苗，金浩，郑建潮. 工艺参数对磁控溅射金属化薄膜性能的影响[J].真空，2008，45：71-73

[3] 田民波，刘德令. 薄膜科学与技术手册[M].北京：机械工业出版社，1991.228-229..

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2013年11月9-27日：由指导老师和学生共同研究，确定课题，上报院教学指导委员会审批。

2013年12月2日：化院内审批，签订任务书制订方案、签定任务书、方案实施。

2013年12月- 2012年3月：进行论文工作，撰写设计。

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