蓝宝石衬底的应力测试与调控任务书

 2021-08-20 22:33:40

1. 毕业设计(论文)主要内容:

1. 阅读相关文献资料,完成蓝宝石衬底应力测试与调控的国内外研究进展的综述;

2. 确定应力测试与调控的方法并建立应力应变仿真模型;

3. 验证并优化模型。

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2. 毕业设计(论文)主要任务及要求

1. 查阅不少于15篇的相关资料,其中近五年外文文献不少于3篇,了解蓝宝石衬底应力测试与调控的国内外研究进展,完成开题报告;

2. 掌握蓝宝石应力测试与调控的方法;

3. 掌握建立应力应变仿真模型的方法;

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3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排

1-2周:阅读参考文献,完成蓝宝石衬底应力测试与调控的国内外研究进展的综述, 完成开题报告;

3-4周:完成英文文献翻译及总体设计;

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4. 主要参考文献

[1] ] H. Aida, N.Aota, H. Takeda, K. Koyama, Control of initial bow of sapphire substrates forIII-nitride epitaxy by internally focused laser processing, J.Cryst. Growth,2012,361:135-141

[2] Koyama K, AidaH, Kim S W, et al. Growth of thick GaN layers on laser-processed sapphiresubstrate by hydride vapor phase epitaxy[J]. Journal of Crystal Growth, 2014,403(5):38-42

[3] Aida H,Hoshino H, Takeda H, et al. Effect of internally focused laser processing ofsapphire substrate on bowing management for III-nitride epitaxy[C]// Society ofPhoto-optical Instrumentation Engineers Conference Series. 2013:555-624

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