微位移检测系统的设计任务书

 2022-09-11 20:55:06

1. 1. 毕业设计(论文)的内容、要求、设计方案、规划等

1) 前言及环境概况

位移是工程检测中最常见、最重要的量之一,因为位移测量是各种物理量测量的基础,通过测量位移可以间接测出压力、应力、容量、速度、加速度、温度、流量等量的大小。近年来,在工程应用和实验测试中,人们对物体测量位移形变时往往要精确到微米级,但一般的测量工具如皮卷尺和直尺都不能满足要求,而一些高精密仪器又价格太高,不实用。位移检测技术就是把被测的位移量转换成与之有确定对应关系的电量或其它可测量量的检测方法。随着工业的发展,工艺愈来愈精密,对微小位移测量越来越多,一系列的位移测量问题不断涌现。我国在这方面的研究还比较落后,精密、超精密加工水平,大规模集成电路的生产水平远远落后于美日等发达国家。因此,开展微位移系统的研究有利于缩小我们与先进国家同行业的差距,促进我国精密仪器仪表、精密超精密加工水平的提高,有利于推动我国大规模集成电路制造技术的发展,促进我国纳米技术方面的研究。

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2. 参考文献(不低于12篇)

[1]孟凡文,高连军. 高精度电容位移传感器设计 .北京: 传感器世界, 2007, 3,

[2]周继明, 江世明. 传感技术与应用( 第二版). 长沙: 中南大学出版社, 2009. 1

[3] 马忠梅,籍顺心,张凯,马岩.单片机的C语言应用程序设计(第4版).北京:北京航空航天大学出版社,2007

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