1. 毕业设计（论文）的内容、要求、设计方案、规划等
一、前言微谐振器是微机电系统（MEMS）的典型器件，广泛应用于高频和高精度的驱动器和传感器。
为了获得高性能、高精度，微谐振器件在设计和制造的时候希望能够有非常小的能量损耗和特别高的质量因数。
然而，事实证明器件尺度的减小必然导致质量因数的减小。
剩余内容已隐藏，您需要先支付后才能查看该篇文章全部内容！
2. 参考文献（不低于12篇）
[1] LIFSHITZ R, ROUKES M L. Thermoelastic damping in micro- and nanomechanical systems [J]. Phys Rev B, 2000, 61(8): 5600-9.
[2] WANG R, CHENG P, XIE F, et al. A multiple-beam tuning-fork gyroscope with high quality factors [J]. Sensor Actuat a-Phys, 2011, 166(1): 22-33.
[3] HAO Z L, XU Y, DURGAM S K. A thermal-energy method for calculating thermoelastic damping in micromechanical resonators [J]. J Sound Vib, 2009, 322(4-5): 870-82.
剩余内容已隐藏，您需要先支付 10元 才能查看该篇文章全部内容！立即支付
以上是毕业论文任务书，课题毕业论文、开题报告、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
