全文总字数：742字
1. 毕业设计（论文）主要内容：
设计一个应用于半导体器件退火工艺的高温退火炉，包括加热系统设计，可移动式载物台设计，退火氛围气体进口和出口设计，所设计的高温退火炉最高工作温度为1000℃。
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
1. 查阅不少于15篇的相关文献，其中英文文献不少于2篇，完成开题报告。
2. 完成高温退火炉总体方案设计和各个部件的机械结构，所设计和选用的部件可以实现最高工作温度为1000℃，退火氛围气体可以是氮气或一氧化氮气体。
3. 完成不少于6000字的英文文献翻译，完成设计论文。
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3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
第1周~第3周：查阅高温退火炉相关资料。
第4周~第5周：完成外文翻译，并开始方案设计工作。
第6周~第12周：完成结构三维设计以及零部件性能优化。
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4. 主要参考文献
[1] 《基于LabView的数据采集与处理技术》 白云，高育鹏，胡小江 等编著，西安电子科技大学出版社，2009年
[2] 《LabView程序设计基础与提高》 张兰勇 等编著，机械工业出版社，2013年
[3] 石川 等，基于LabView的数据采集与信号处理系统的设计，机械设计与制造，第5期，2009年
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