半导体晶圆钻石线切割控制系统开发任务书

 2023-01-12 09:08:55

1. 毕业设计(论文)的内容和要求

了解目前常用的半导体钻石线切割技术,设计半导体晶圆钻石线切割机的硬件结构,完成PLC选型和配套硬件的选择,编写合理的梯形图语句,设计出半导体晶圆钻石线切割控制系统。培养调查研究、中外文献检索与阅读能力,综合运用专业知识和理论分析解决实际问题。

2. 实验内容和要求

内容:

(1) 分析半导体晶圆钻石线切割系统的设计流程,理清设计思路;

(2) 查阅相关资料,确定设计方案;

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3. 参考文献

[1]张厥宗.硅片加工技术[M].北京: 化学工业出版社,2009.

[2]史国生.电气控制与可编程控制器技术[M].北京: 化学工业出版社,2003.

[3]S7-200smart可编程序控制器手册[M].西门子(中国)有限公司自动化与驱动集团,2005.

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4. 毕业设计(论文)计划

2022年12月22日 选题:

2022年12月30日 任务书

2022年3月30日 中期检查

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