1. 毕业设计（论文）的内容和要求
对AlN及NbN薄膜有一定了解，掌握AlN及NbN薄膜的制备过程，学会利用X射线衍射（XRD）对得到的薄膜结构进行研究，并对NbN的超导电性进行测量，对AlN薄膜进行抗电测试。
在此基础上完成毕业论文，学会如何撰写论文。
2. 实验内容和要求
内容：（1）分析实验原理，理清实验思路；
（2）查阅相关资料，确定实验方案；
（3）制备AlN及NbN薄膜；
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3. 参考文献
[1]陈亚军,康琳,蔡卫星,等. MgO(111)上NbN和AlN薄膜的生长研究.低温物理学报, 2005,
[2] Knau H, Welti A et al. Sputtered NbN-Films for RF Applications, in Proceedings of Physica C: Superconductivity, Volume 182, Issues 1-3, 20 October, 1991. 39.
[3] 太刀川恭治, 户叶一正. Superconductivity-Breakthrough of High Technology(超导-高技术的突破口). Beijing: Chemical Industry Press(北京: 化学工业出版社), 1992. 40.
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4. 毕业设计（论文）计划
第一阶段：2013.12～2022.1确定论文选题，填写毕业论文任务书、毕业论文选题表。
第二阶段：2022.1～2022.3调研、查阅论文相关资料，确定硅基片和氧化镁基片上薄膜的微结构分析论文大纲。
第三阶段：2022.3～2022.4根据论文大纲，完成论文初稿。
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